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질량 유량 제어기 MFC DYS300 시리즈

제품설명

DYS300 시리즈 질량 유량 제어기는 현장의 사용 환경에 맞게 조정된 구성으로 출고됩니다. 또한, 미국 FLUKE의 Molbox 고급 교정 장비를 사용하여 교정되며 최대 0.125% R.D.의 높은 정확도를 보장합니다.

직접 개발한 산업용 유량 센서와 세밀하게 연마 된 가스 회로 구조 및 고정밀 디지털 제어 회로 및 알고리즘을 결합하여 높은 정밀도, 낮은 드리프트, 뛰어난 반복성 제어를 실현합니다. 

DYS300 시리즈 제품은 디스플레이 화면과 주소 코딩 스위치가 장착되어 있으며 다양한 통신 모드를 선택할 수 있습니다. 또한, All-metal 실링으로 맞춤화가 가능하며, 이는 반도체, 진공 코팅, 태양 전지 등 다양한 응용 환경에 완벽하게 적합합니다. 

제품특징

현장 사용 환경에 따라 제품 구성을 조정하여 출고

높은 정밀도 및 반복성과 재현성이 우수함

빠른 센서 응답 시간으로 작은 유량 변화를 적시에 감지

다양한 기능 모듈이 구성되어 있음

  • 제품사양

    Full Scale :

    0~10, 20, 50, 100, 200, 500sccm

    0~1, 2, 3, 5, 10, 20, 50slm

    정확도 :

    0.3% F.S.

    1.0% S.P.

    반복 정확도 :

    ≤ ±0.2% F.S. 

    응답 시간 :

    컨트롤러: ≤ 1s

    유량계: ≤ 10ms

    해상도 비율 :

    카다로그 참조

    최대 압력 :

    10 bar

    운영 온도 : 

    0 ~ 50

    저장 온도 :

    -20 ~ 85

    전원 전압 :

    DC 24V

    통신 :

     RS485, EtherCAT

    재질 :

    카다로그 참조

    연결부 :

     카다로그 참조

  • 카다로그/매뉴얼
  • 적용분야

     깨끗하고 건조한 비부식성 가스

     공기 (Air)

     질소 (N2)

     산소 (O2)

     이산화탄소 (CO2)

     헬륨 (He)

     수소(H2)

     메탄(CH4)

     아르곤(Ar)

  • 포장 구성품

     DYS300 질량 유량계 1개

     전용 케이블 1개

     전용 커넥터 2개

     시험 성적서 1장

     사용 설명서 다운로드 안내서 1장

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